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半导体抗静电无尘无菌车间

发布日期:2022-06-23

无尘车间

是指将一定空间范围之内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。

洁净车间洁净程度和控制污染的持续稳定性,是检验洁净室质量的核心标准,该标准根据区域环境、净化程度等因素,分为若干等级,常用的有国际标准和国内区域行业标准,一些知名净化工程公司,在通行标准之外,还设有自身执行的高于国际化通行标准的净化指标,净化能力和环境适应力远超国际品牌。一般以工业铝材(不锈钢方通、喷塑方通)做框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周采用防静电垂帘,顶部铺盖密缝盲板,形成一个密缝区,内部净化级别可达100---10万级;特别适用于车间内局部对洁净度要求高的区域,如流水线作业区的高精确度产品组装区。

■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表

个/M3≥ 0.5um

ISO14644-1(1999)

US 209E (1992)

US 209D (1988)

EEC GGMP (1989)

FRANCE AFNOR(1981)

GERMANY VDI 2083(1990)

JAPAN JAOA(1989)

1

-

-

-

-

-

-

-

3.5

2

-

-

-

-

0

2

10

-

M1

-

-

-

-

-

35.3

3

M1.5

1

-

-

1

3

100

-

M2

-

-

-

-

-

353

4

M2.5

10

-

-

2

4

1,000

-

M3

-

-

-

-

-

3,530

5

M3.5

100

A+B

4,000

3

5

10,000

-

M4

-

-

-

-

-

35,300

6

M4.5

1,000

1,000

-

4

6

100,000

-

M5

-

-

-

-

-

353,000

7

M5.5

10,000

C

400,000

5

7

1,000,000

-

M6

-

-

-

-

-

3,530,000

8

M6.5

100,000

D

4,000,000

6

8

10,000,000

-

M7

-

-

-

-

-

■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表

空气洁净度等级(N)

大于或等于表中粒径的***大浓度限值(pc/m3)


0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2





2

100

24

10

4



3

1000

237

102

35

8


4

10000

2370

1020

352

83


5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7




352000

83200

2930

8




3520000

832000

29300

9




35200000

8320000

293000



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